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    产品名称:

    双腔甩干机

    上市日期: 2016-06-22

    ?甩干机 (1).png

    双腔甩干机

    1. 应用范围:

    l?本機台適用於半導體7”晶圓(含)以下之旋乾製程.

    l?设备為垂直式雙槽體機台,可同Run 50~100片.

    l?可對旋乾步驟進行可程式化控制 (Recipe Program).

    l?具使用在此設備已超過20年以上的應用馬達控制系統設計, 高穩定度Rotor 設計, 震動值均控制於300 um 以下.

    l?高潔淨設計,微塵控制於每次運轉增加量, 0.3um , 30顆以下.

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    2. 操作流程

    操作流程.png

    3. 图示

    图示.png

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    4. 規格

    l?機台內皆使用鐵氟龍製DI , N2 控制閥件

    l?直流式馬達: DC無刷馬達750W

    l?真空負壓軸封設計,隔離槽外污染

    l?不銹鋼N2過濾器 0.003~0.005μm

    l?氣體加熱器及加熱墊控制乾燥速率< 200 °C ±10% (加熱棒本體)

    l?壓力感測保護(加熱器空燒保護)

    l?槽外貼Silicon材質加熱墊 x1 片, 220VAC , 300W(溫度開關90°C OFF 70°C ON)

    l??Viton材質充氣式氣囊及槽後密封環,保持室外絕緣

    l?不銹鋼槽體SS316經拋光及電解研磨

    l?單顆螺絲固定轉子,並按客戶需求指定使用訂做

    l?轉子經拋光及電解研磨,並做動態平衡校正

    l?可選擇指示燈訊及蜂鳴器音樂

    故障碼功能: 門鎖警告,氣體不足,傳動異常警告

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    5. 電控系統

    l??控制器操作介面: 5.7”記憶人機+ PLC可程式自動化控制器(人機 Touch Screen,整合介面) 。

    l?軟體功能

    ??編輯/儲存 : 製程/維修/警示/編輯/配方/,皆可從操作螢幕上修改。

    ??儲存能力

    記憶模組:參數記憶,配方設定。

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    6. 廠務需求

    l?電力需求: AC220V單向?40A (2組電源)

    l??DI:3/8” PFA Tube, 30~40 psi.

    l??N2:1/2” PFA Tube, 30~40 psi.

    l??CDA :1/4” Tube, 30~50psi.

    l?Drain : 1-1/2” PVC Tube.

    l?尺寸:480mm(W)x800mm(L)x1800mm(H)


    更多的立式腔甩干机设备相关资讯可以关注华林科纳CSE官网(www.0795life.com),现在热线咨询400-8768-096可立即获取免费的半导体清洗解决方案。

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    双腔甩干机

    1. 应用范围:

    l?本機台適用於半導體7”晶圓(含)以下之旋乾製程.

    l?设备為垂直式雙槽體機台,可同Run 50~100片.

    l?可對旋乾步驟進行可程式化控制 (Recipe Program).

    l?具使用在此設備已超過20年以上的應用馬達控制系統設計, 高穩定度Rotor 設計, 震動值均控制於300 um 以下.

    l?高潔淨設計,微塵控制於每次運轉增加量, 0.3um , 30顆以下.

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    2. 操作流程

    操作流程.png

    3. 图示

    图示.png

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    4. 規格

    l?機台內皆使用鐵氟龍製DI , N2 控制閥件

    l?直流式馬達: DC無刷馬達750W

    l?真空負壓軸封設計,隔離槽外污染

    l?不銹鋼N2過濾器 0.003~0.005μm

    l?氣體加熱器及加熱墊控制乾燥速率< 200 °C ±10% (加熱棒本體)

    l?壓力感測保護(加熱器空燒保護)

    l?槽外貼Silicon材質加熱墊 x1 片, 220VAC , 300W(溫度開關90°C OFF 70°C ON)

    l??Viton材質充氣式氣囊及槽後密封環,保持室外絕緣

    l?不銹鋼槽體SS316經拋光及電解研磨

    l?單顆螺絲固定轉子,並按客戶需求指定使用訂做

    l?轉子經拋光及電解研磨,並做動態平衡校正

    l?可選擇指示燈訊及蜂鳴器音樂

    故障碼功能: 門鎖警告,氣體不足,傳動異常警告

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    5. 電控系統

    l??控制器操作介面: 5.7”記憶人機+ PLC可程式自動化控制器(人機 Touch Screen,整合介面) 。

    l?軟體功能

    ??編輯/儲存 : 製程/維修/警示/編輯/配方/,皆可從操作螢幕上修改。

    ??儲存能力

    記憶模組:參數記憶,配方設定。

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    6. 廠務需求

    l?電力需求: AC220V單向?40A (2組電源)

    l??DI:3/8” PFA Tube, 30~40 psi.

    l??N2:1/2” PFA Tube, 30~40 psi.

    l??CDA :1/4” Tube, 30~50psi.

    l?Drain : 1-1/2” PVC Tube.

    l?尺寸:480mm(W)x800mm(L)x1800mm(H)

    ?重量:205Kgs

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    2016 - 03 - 07
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